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產(chǎn)品特性：
1、 研磨過程中控制邊緣碎片，降低晶圓碎裂風(fēng)險(xiǎn) 2、撕膜后無明顯殘膠 3、較好的晶圓TTV控制，平均TTV可以控制在1.5um~2um 4、晶圓翹曲控制

具體典型應(yīng)用：

1、半導(dǎo)體晶圓研磨工藝

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